成都918博天堂测控技术有限公司生产和销售的AC和DC系列的气体质量流量计,均采用热式毛细管原理制成。首先来说说质量流量计的表示单位。气体质量流量单位一般以sccm (Standard Cubic Centimeter per Minute,每分钟标准毫升)和slm (Standard Liter per Minute,每分钟标准升)来表示。标准状态规定为: 气压101325Pa (760mm Hg); 温度20°C(293.15K)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别,也是sccm、 slm不同于mL/min、 L/min 之处。这就表示目前指示的流量均是标准状态下的流量。
接下来是不同气体的质量流量换算?仪器出厂时一般是按氮气标定,用氮气流量确定流量规格和型号。用户在订货时明确了使用介质的话,就按照用户实际使用介质标定。用同一规格的流量控制器或流量计测量不同的气体,当流量检测值相同时,实际的流量值可能不同。那是就需要在产品说明书中找到实际使用气体的转换系数。在测量过程中,以此系数乘以流量显示值即是实际使用气体的质量流量,反之,在确定所购产品的量程时,以实际使用气体的最大期望流量值除以转换系数,即是相应的氮气标定产品的流量值。空气、氮气、氧气、氢气或是低含量的标准混合气等气体,其转换系数约为1.0,一般可直接用按氮气标定显示的产品即可。
今天就浅聊两点质量流量计的特点,后面在从质量流量控制器的压力、使用方法、以及使用禁忌等方面进行介绍。