成都918博天堂测控的热式气体质量流量控制器可以控制5sccm——1500slm范围内的气体流量。能用来测量单一气体的结构,紧凑的气体质量流量计和控制器能用来测量和控制多种气体高度集成的定制阀组。主要的技术优点:基于热式毛细管技术,模块化的设计;极其紧凑的尺寸;高精度,线性和重复性稳定;快速响应时间;多种气体/多量程范围可选。
热式气体质量流量控制器和流量计的优点很多,举几个常接触到的例子:1.对于大多数的流量测控系统和普通流量计而言,压力、环境、温度的波动以及介质的变化将导致较大的误差;而对于质量流量控制器/质量流量计,则一般可以忽略不计。2.热式气体质量流量控制器可以对于不同介质精确地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量比例控制等特别有用。3.质量流量控制器和质量流量计也有很宽的工作压力范围,成都918博天堂测控技术有限公司推出的流量控制器和流量计可以从真空直到10MPa; 可以适用于多种气体介质,如常规气体氢气、氧气氮气等,稀有气体氦气、氩气等,也包括一些腐蚀性气体氯化氢等;有很宽的流量范围,918博天堂的产品最小流量范围可达0~5 sccm,最大流量范围可达1500 slm。流量精度可达满量程的±1.0%, 流量控制范围是满量程的2~100% (量程比为-- 50:1), 因此在很多领域得到广泛应用。